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案例内容
- MEMS
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MEMS(Micro Electromechanical System，即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。
MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。
常见的MEMS分析软件包括：FLOW-3D、Comsol等
- 问题描述
- MEMS的计算机模拟分析涉及：微动力学、微流体力学、微热力学、微摩擦学、微光学和微结构学方面的分析。
- 成功案例